硼11和硼10的原子量分别是11.009305和10.012937，相差约0.996368。

一种特殊的同位素和一种重要的电子特气  

硼是一种常见的元素，它在自然界中以两种稳定的同位素存在，分别是硼10和硼11。硼10占硼的自然丰度的约20%，硼11占约80%。硼11和硼10的原子量分别是11.009305和10.012937，相差约0.996368。这种微小的差异，却造就了硼11和硼10的不同的物理性质和化学性质，以及不同的应用领域和市场价值。

三氟化硼是一种无色气体，它是由硼和氟组成的化合物，化学式为BF3。三氟化硼是一种重要的特种气体材料，它可以与不同的同位素组合，形成不同的同位素化合物，例如三氟化硼10和三氟化硼11。三氟化硼11是一种用于半导体制造的电子特气，具有高纯度、高稳定性等特点，是一种高端的电子特气产品。

本文将介绍硼11和三氟化硼11的基本性质、制备方法、应用领域和发展前景，以及与之相关的11BF3电子特气市场情况和富集10B***市场情况及应用。

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硼11和三氟化硼11的基本性质

硼11是一种稳定的同位素，它的原子核由5个质子和6个中子组成，它的原子量是11.009305，它的自旋量子数是3/2，它的核磁旋比是2.6886。硼11的物理性质和化学性质与硼10有差异，主要表现在以下几个方面：

硼11的中子吸收截面是0.0055巴，而硼10的中子吸收截面是3837巴，相差约700000倍。这意味着硼11对中子的吸收能力非常弱，而硼10对中子的吸收能力非常强。这也是为什么硼11可以用于半导体制造，而硼10可以用于核工业的原因之一。

硼11的核磁共振（NMR）信号是正的，而硼10的核磁共振信号是负的。这意味着硼11在外加磁场下，其原子核的磁矩与磁场方向相同，而硼10则相反。这也是为什么硼11可以用于核磁共振成像（MRI）等医疗诊断，而硼10则不适合的原因之一。

硼11的原子半径是0.087纳米，而硼10的原子半径是0.085纳米，相差约0.002纳米。这意味着硼11的原子体积比硼10的原子体积略大一些。这也是为什么硼11可以用于硅离子注入，而硼10则不适合的原因之一。

三氟化硼11是一种由硼11和氟组成的化合物，它的分子结构是一个平面三角形，其中硼原子位于中心，氟原子位于顶点，硼原子和氟原子之间的键角是120°，硼原子和氟原子之间的键长是0.130纳米。三氟化硼11的物理性质和化学性质与三氟化硼10有差异，主要表现在以下几个方面：

三氟化硼11的沸点是-99.8°C，而三氟化硼10的沸点是-100.3°C，相差约0.5°C。这意味着三氟化硼11的挥发性比三氟化硼10略强一些。这也是为什么三氟化硼11可以用于气相沉积（CVD）等工艺，而三氟化硼10则不适合的原因之一。

三氟化硼11的密度是2.75克/升，而三氟化硼10的密度是2.79克/升，相差约0.04克/升。这意味着三氟化硼11的质量比三氟化硼10略轻一些。这也是为什么三氟化硼11可以用于低压注入（LPI）等工艺，而三氟化硼10则不适合的原因之一。

三氟化硼11的电离能是15.6电子伏，而三氟化硼10的电离能是15.7电子伏，相差约0.1电子伏。这意味着三氟化硼11的电子亲和力比三氟化硼10略弱一些。这也是为什么三氟化硼11可以用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等工艺，而三氟化硼10则不适合的原因之一。

三氟化硼11的制备方法主要有两种，一种是通过气相分离法，将自然硼和氟气反应生成混合的三氟化硼，然后利用硼11和硼10的质量差异，通过离心、吸附、膜分离等技术，将三氟化硼11和三氟化硼10分离出来。这种方法的优点是产量高，缺点是成本高，能耗大，设备复杂。另一种方法是通过电子束加速器法，将自然硼或富集硼11的固体硼炸裂成硼11的原子或离子，然后与氟气反应生成三氟化硼11。这种方法的优点是纯度高，缺点是产量低，效率低，设备昂贵。